共同利用機器
両面マスクアライナー
貸出可
概要
マスクを通してフォトレジストに紫外線を露光して微細パターンを作製する装置
仕様・特色
マスクサイズ:□2.5インチ、□5インチ
光源:250W超高圧水銀ランプ
アライメント精度:±5μm以内
ウェハサイズ:最大φ4インチ
露光照度:15mW/cm2程度(強度分布±5%以内)
解像力:3μm
利用情報
料金
2200円／時間
貸出条件1
マスクやレジスト等は使用者が準備すること
その他機器等の情報
機器種別：設計・加工機器
設置場所住所、管理部署・担当
設置場所：
岩手県盛岡市北飯岡2-4-25
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管理部署：電子情報システム部
二瓶貴之