共同利用機器
超短パルスレーザ微細加工機
貸出可
概要
超短パルスレーザにより様々な素材に微細な加工を施す装置
仕様・特色
レーザ発振中心波長:1,030nm
パルス幅:260fs～10ps(可変)
ステージ可動範囲:XY200mm、Z100mm
位置分解能:0.5μm
ガルバノ走査範囲:□40mm
最大出力:4W(0.2mJ/pulse)
繰返し周波数:最大200kHz
ステージ速度:最大200mm/s
繰返し位置決め精度:±1μm
ガルバノ走査速度:最大4,000mm/s
利用情報
料金
2800円／時間
その他機器等の情報
機器種別：設計・加工機器
設置場所住所、管理部署・担当
設置場所：
岩手県盛岡市北飯岡2-4-25
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管理部署：電子情報システム部
目黒和幸