アセット情報システム
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共同利用機器
スピンコータ
貸出可
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型番等：
ミカサ製MS-A100
設置場所：
岩手県工業技術センター
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No Image
概要
フォトレジストの塗布
仕様・特色
最大基板サイズ：φ4インチウエハーまたは75㎜角基板
回転数(rpm)：20～8,000
利用情報
料金
800円／時間
貸出条件1
本装置はマニュアル式のため、作業者が常に操作すること
その他機器等の情報
機器種別：
設計・加工機器
設置場所住所、管理部署・担当
設置場所：
岩手県盛岡市北飯岡2-4-25
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管理部署：
電子情報システム部 二瓶貴之
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