共同利用機器
電気炉
貸出可
概要
半導体プロセス用熱処理、焼成(RT～1,150℃、プログラム運転可、窒素ガス導入可)
仕様・特色
使用最高温度：1,150℃
定値運転、プログラム運転（PID制御）
内寸、内容積：W300×D400×H250、30L
窒素ガス導入可能：5～50L/min
利用情報
料金
500円／時間
貸出条件1
窒素ガス導入時、別途ガス代加算
その他機器等の情報
機器種別：加熱・冷却機器
設置場所住所、管理部署・担当
設置場所：
岩手県盛岡市北飯岡2-4-25
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管理部署：電子情報システム部
佐々木昭仁