共同利用機器
輪郭形状測定機
貸出可
概要
ナイフエッジで測定物の表面を走査して、輪郭を測定する機器
仕様・特色
X線管球：Cuターゲット封入型セラミックス絶縁管球
・範囲58mm（Z方向）、200mm（X方向）
・指示精度±(1.0+0.04H)μmH：Z変位(mm)
(2)粗さユニット
・測定分解能7.5nm（Z方向）、100nm（X方向）
・測定力0.75mN以下
測定物の輪郭を測定する装置。特に、測定範囲の異なる輪郭ユニットと粗さユニットを使い分けることで58mm～7.5nmの輪郭を測定できる。
(1)輪郭ユニット
・測定分解能50nm（Z方向）、500nm（X方向）
・傾斜限界昇り77°／下り87°
・範囲5mm（Z方向）、200mm（X方向）
・指示精度±(0.2+0.5H)μmH：Z変位(mm)
【概要】
利用情報
料金
700円／時間
貸出条件1
接触走査式のため表面に針が引っかかるケバが無いこと
その他機器等の情報
機器種別：試験・測定機器
設置場所住所、管理部署・担当
設置場所：
岩手県盛岡市北飯岡2-4-25
地図を別タブで開く
管理部署：素形材プロセス技術部
佐々木駿