アセット情報システム
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共同利用機器
自動エリプソメータ
貸出可
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型番等：
（株）溝尻工学工業所DVA－36L
設置場所：
岩手県工業技術センター
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概要
レーザーの屈折状態から、薄膜の膜厚等を評価する機器
仕様・特色
物質の屈折率、吸収係数、薄膜の厚さを光の偏光を利用し解析する装置。
・測定ビーム径；1mmφ
・測定精度；0.2～1nm
・光源；He-Neレーザ（632.8nm）
・測定範囲；1～1000nm
利用情報
料金
700円／時間
その他機器等の情報
機器種別：
試験・測定機器
設置場所住所、管理部署・担当
設置場所：
岩手県盛岡市北飯岡2-4-25
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管理部署：
機能材料技術部 須藤裕太
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