共同利用機器
平坦度測定装置
貸出可
概要
測定面の平坦度を計測する装置
仕様・特色
物体表面の凹凸やうねりを0.01μmの精度で測定する装置。
・測定レンジ；Low～10μm/Nominal10～20μm/Extended20～50μm
・分解能；表示0.01μm/内部0.003μm
・測定範囲；200×200mm
・積載重量；5kg
・測定方式；斜入射レーザ干渉式
利用情報
料金
1900円／時間
その他機器等の情報
機器種別：試験・測定機器
設置場所住所、管理部署・担当
設置場所：
岩手県盛岡市北飯岡2-4-25
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管理部署：素形材プロセス技術部
佐々木駿