共同利用機器
小型真空蒸着装置
貸出可
概要
基板上に金属や酸化物の薄膜を堆積させる装置
仕様・特色
1.本体
排気系:ターボ分子ポンプ(300L/s)油回転ポンプ(100L/min.)
抵抗加熱源:2基(0.2kVA)
2.試料部
試料温度:室温～450℃
3.設置場所：先端研
真空槽:内径φ230×H240SUSチャンバー
最高到達真空度:3.0E-3Pa
電子ビーム加熱源:1基(3kW)
試料サイズ:最大φ2インチ
試料回転機構付き
利用情報
料金
1300円／時間
貸出条件1
成膜材料の費用を別途加算
その他機器等の情報
機器種別：設計・加工機器
設置場所住所、管理部署・担当
設置場所：
岩手県盛岡市北飯岡2-4-25
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管理部署：電子情報システム部
目黒和幸