アセット情報システム
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共同利用機器
大型管状炉D
貸出可
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型番等：
光洋サーモシステムKTF-055N
設置場所：
岩手県工業技術センター
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概要
主に半導体試料の熱酸化や不純物拡散をする装置
仕様・特色
用途:n形ZnOおよびサファイアアニール用
チューブ寸法:φ80×500mm
使用最高温度:1,100℃
利用情報
料金
600円／時間
その他機器等の情報
機器種別：
加熱・冷却機器
設置場所住所、管理部署・担当
設置場所：
岩手県盛岡市北飯岡2-4-25
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管理部署：
電子情報システム部 目黒和幸
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