共同利用機器
集束イオンビーム加工装置（FIB）
貸出可
概要
集束したGaイオンビームを金属などの硬い試料に照射し、加工や観察を行う装置。TEM用の薄片資料作成や、SEM観察用の断面作成に用いる。
仕様・特色
ガリウムイオン源
ガリウム、集束、加工、イオンビーム、デポジション、断面、薄膜
利用情報
ご利用時の注意
機器をご利用いただくには、事前のお手続きが必要です。利用方法を含め、詳細につきましては、「利用申請ページ」に表示されるメールアドレスまたは電話番号までお問い合わせください。
利用料金
利用方法により異なりますので、「利用申請ページ」に表示されるメールアドレスまたは電話番号までお問い合わせください。
その他機器等の情報
機器種別：試験・測定機器
装置カテゴリ：加工装置
設置場所住所、管理部署・担当
設置場所：
岩手県盛岡市上田4-3-5
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管理部署：岩手大学機器分析ユニット