アセット情報システム

共同利用機器

スパッタ装置

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管理No：

アルバックMPS-3000-MC1C1LTS1

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概要・仕様・特色

留意点、料金など

料金

4900円／時間

貸出条件1

カソードは斜入射オフアクシス配置で低ダメージ成膜が可能

その他機器等の情報

設置年：2021126

機器種別：設計・加工機器

装置カテゴリ：

分野：

設置場所住所、管理部署・担当

設置場所：

部署： 電子情報システム部目黒和幸、、

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